界面新聞?dòng)浾?| 郭凈凈

國(guó)產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)供應(yīng)商深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)股份有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“恒運(yùn)昌”）沖刺科創(chuàng)板IPO事宜有進(jìn)展。10月17日，該公司已回復(fù)其科創(chuàng)板上市申請(qǐng)審核問(wèn)詢(xún)函，并更新招股書(shū)中財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)等重要內(nèi)容。

更新后的招股書(shū)顯示，2025年上半年，恒運(yùn)昌調(diào)整了其占營(yíng)收比重超六成的第一大客戶(hù)、持股超3%的拓荊科技（688072.SH）的信用政策，將其從維持多年的30天延長(zhǎng)至60天。

對(duì)于這個(gè)現(xiàn)象，界面新聞?dòng)浾卟稍L(fǎng)了行業(yè)多位人士，大家觀(guān)點(diǎn)不一。

不容忽視的是，今年上半年，隨著大客戶(hù)拓荊科技的賬期拉長(zhǎng)，恒運(yùn)昌的應(yīng)收賬款大幅上漲，應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)率下滑，公司的資金壓力有所提升。

市場(chǎng)份額6.1%

恒運(yùn)昌半導(dǎo)體級(jí)等離子體射頻電源系統(tǒng)于2018年開(kāi)始研發(fā)、2020年下半年開(kāi)始批量交付。到2024年，恒運(yùn)昌的自研產(chǎn)品收入占比超過(guò)80%。

恒運(yùn)昌已自研推出CSL、Bestda、Aspen/Basalt三代等離子體射頻電源系統(tǒng)系列產(chǎn)品。其中，目前主要產(chǎn)品Bestda、Aspen/Basalt兩代產(chǎn)品，主要面向半導(dǎo)體領(lǐng)域；CSL系列主要用于光伏電池片薄膜沉積、顯示面板鍍膜、精密光學(xué)鍍膜等領(lǐng)域。

2025年1月，以AE、MKS等最新一代產(chǎn)品指標(biāo)為設(shè)計(jì)目標(biāo)，恒運(yùn)昌開(kāi)始研發(fā)新一代等離子體射頻電源系統(tǒng)Cedar系列，產(chǎn)品可支撐5納米及以下先進(jìn)制程，預(yù)計(jì)于四季度推出樣機(jī)，于2026年二季度實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售。

“恒運(yùn)昌在國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體領(lǐng)域等離子體射頻電源系統(tǒng)供應(yīng)商中，算是名氣比較大的，市場(chǎng)份額還可以，但不是唯一的?！鄙鲜霭雽?dǎo)體行業(yè)技術(shù)專(zhuān)家對(duì)界面新聞?dòng)浾咧赋觯壳?，?guó)內(nèi)做射頻電源產(chǎn)品的公司不少，“射頻電源本身應(yīng)用很廣泛，只不過(guò)，半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)射頻電源要求更高一點(diǎn)。有很多其他領(lǐng)域的射頻電源公司也轉(zhuǎn)過(guò)來(lái)做半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品?！?/p>

前述專(zhuān)家指出，作為半導(dǎo)體設(shè)備零部件國(guó)產(chǎn)化最難環(huán)節(jié)之一，全球等離子體射頻電源系統(tǒng)市場(chǎng)主要由MKS、AE等海外廠(chǎng)商壟斷，“毫無(wú)疑問(wèn)，AE是全球老大?！?/p>

根據(jù)弗若斯特沙利文統(tǒng)計(jì)，2024年中國(guó)大陸半導(dǎo)體領(lǐng)域等離子體射頻電源系統(tǒng)的國(guó)產(chǎn)化率不足12%，其中恒運(yùn)昌的市場(chǎng)份額為6.1%，位列國(guó)產(chǎn)廠(chǎng)商第一。就整體中國(guó)大陸等離子體射頻電源系統(tǒng)市場(chǎng)，恒運(yùn)昌2024年的市場(chǎng)份額為3.8%，位列國(guó)產(chǎn)廠(chǎng)商第一位。

不過(guò)，恒運(yùn)昌的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手正在增加。英杰電氣（300820.SZ）、北方華創(chuàng)微電子等公司加緊布局射頻電源業(yè)務(wù)。

界面新聞了解到，英杰電氣重點(diǎn)攻關(guān)半導(dǎo)體刻蝕、薄膜沉積（CVD/PECVD）、離子注入等關(guān)鍵制程電源技術(shù)，部分型號(hào)射頻電源已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，覆蓋5nm刻蝕及PECVD等先進(jìn)制程，已成為中微公司（688012.SH）供應(yīng)商且已獲其投資持股約20%。

2020年，北方華創(chuàng)微電子收購(gòu)北廣科技射頻應(yīng)用技術(shù)相關(guān)資產(chǎn)；2024年3月，北方華創(chuàng)擬以北京七星華創(chuàng)流量計(jì)有限公司為基礎(chǔ)，打造集成電路裝備零部件產(chǎn)業(yè)平臺(tái)，后更名為華丞電子。

超六成收入來(lái)自拓荊科技

近年來(lái)，受益于整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)的國(guó)產(chǎn)替代趨勢(shì)，恒運(yùn)昌的業(yè)績(jī)持續(xù)改善。

最新披露的財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)顯示，2022年至2024年及2025年前6月（報(bào)告期內(nèi)），恒運(yùn)昌實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入分別為1.58億元、3.25億元、5.41億元及3.04億元；同期歸母凈利潤(rùn)分別是2638.97萬(wàn)元、8053.58萬(wàn)元、1.43億元、6942.42萬(wàn)元；主營(yíng)業(yè)務(wù)毛利率分別為41.65%、46.11%、48.71%及49.03%。截至2025年8月31日，公司在手訂單規(guī)模為1.03億元。

毛利率、收入均提高，恒運(yùn)昌今年上半年的凈利潤(rùn)反而下降。恒運(yùn)昌稱(chēng)，2025年1-6月研發(fā)費(fèi)用為4330.84萬(wàn)元，較上年同期增加72.63%。

更需關(guān)注的是，恒運(yùn)昌超六成收入來(lái)自其第一大客戶(hù)拓荊科技。2022年至2024年及2025年上半年，該公司向拓荊科技銷(xiāo)售收入分別為7153.8萬(wàn)元、1.89億元、3.41億元及1.89億元，占當(dāng)期營(yíng)收比重分別為45.23%、58.16%、63.13%和62.06%。

自2018年起，恒運(yùn)昌與拓荊科技開(kāi)展多款PECVD設(shè)備所需等離子體射頻電源系統(tǒng)的國(guó)產(chǎn)化開(kāi)發(fā)及驗(yàn)證工作，2020年獲得批量訂單，于2021年5月達(dá)到千萬(wàn)級(jí)收入。報(bào)告期內(nèi)，公司已穩(wěn)定批量供應(yīng)拓荊科技PECVD設(shè)備，是拓荊科技2024年第一大等離子體射頻電源系統(tǒng)供應(yīng)商、前十大零部件供應(yīng)商。

目前，雙方合作范圍從開(kāi)始的PECVD設(shè)備不斷擴(kuò)展至PEALD（等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)）設(shè)備、HDPCVD（高密度等離子體化學(xué)氣相沉積）設(shè)備及先進(jìn)封裝的鍵合設(shè)備領(lǐng)域。

“如果恒運(yùn)昌對(duì)拓荊科技的銷(xiāo)售比重持續(xù)超過(guò)60%，那么我認(rèn)為該公司的客戶(hù)源還不夠大?！鼻笆霭雽?dǎo)體行業(yè)技術(shù)專(zhuān)家對(duì)界面新聞?dòng)浾叻Q(chēng)，拓荊科技自身的公司體量也不夠大，“長(zhǎng)期只依賴(lài)這一家公司的話(huà)，公司發(fā)展的天花板可能也就在那里?！?/p>

界面新聞了解到，拓荊科技是我國(guó)唯一一家產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的半導(dǎo)體PECVD設(shè)備商。2025年上半年，拓荊科技實(shí)現(xiàn)營(yíng)收19.54億元，同比增長(zhǎng)54.25%；同期歸母凈利潤(rùn)9428.80萬(wàn)元，同比下降26.96%。

“公司目前已經(jīng)建立全球化的供應(yīng)商網(wǎng)絡(luò)，關(guān)鍵零部件采用‘多源采購(gòu)’模式，避免單一供應(yīng)商依賴(lài)。”拓荊科技稱(chēng)，其與核心供應(yīng)商簽訂長(zhǎng)期合作協(xié)議。就拓荊科技2024年年報(bào)，僅從采購(gòu)額來(lái)看，到2024年，恒運(yùn)昌或?yàn)橥厍G科技第三大供應(yīng)商，涉及采購(gòu)額3.37億元，占年度采購(gòu)總額比例6.35%。

2022年8月，拓荊科技基于保障自身供應(yīng)鏈安全的需要，對(duì)恒運(yùn)昌進(jìn)行投資股2000萬(wàn)元。目前，拓荊科技持有恒運(yùn)昌股份比例3.0856%，其旗下全資子公司上海巖泉持股0.3341%。上交所曾對(duì)拓荊科技（及其子公司上海巖泉）的入股背景、入股價(jià)格及公允性，是否存在關(guān)于購(gòu)銷(xiāo)、業(yè)績(jī)等方面的特殊約定等問(wèn)題作出問(wèn)詢(xún)。

恒運(yùn)昌試圖擴(kuò)大其客戶(hù)圈。據(jù)界面新聞了解，公司2024年對(duì)中微公司、北方華創(chuàng)、微導(dǎo)納米已實(shí)現(xiàn)收入4288.56萬(wàn)元、2813.65萬(wàn)元和2306.19萬(wàn)元。2025年1-6月，公司新增了屹唐股份、思銳智能和無(wú)錫邑文等客戶(hù)。

延長(zhǎng)大客戶(hù)賬期，應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)率下滑

2024年，恒運(yùn)昌將銷(xiāo)售給宏大真空的自研產(chǎn)品的信用政策由“預(yù)付30%，發(fā)貨前付50%，簽收后付15%，質(zhì)保后付5%”改為“貨到票到一周付80%，剩余3月內(nèi)20%”。2025年上半年，公司將拓荊科技的信用政策由“月結(jié)30天”改為“月結(jié)60天”。

“上述調(diào)整是公司基于客戶(hù)與公司合作時(shí)間、資信情況、歷史回款情況及銷(xiāo)售額、公司實(shí)際情況等各項(xiàng)因素后，經(jīng)雙方協(xié)商后的正常商業(yè)行為，而非故意放寬信用期刺激銷(xiāo)售的情形?！焙氵\(yùn)昌稱(chēng)。

某半導(dǎo)體公司董秘對(duì)界面新聞?dòng)浾弑硎?，恒運(yùn)昌這么高的大客戶(hù)依賴(lài)度，此前竟然只有30天賬期，已經(jīng)相當(dāng)優(yōu)秀了；“個(gè)人認(rèn)為這屬于正常調(diào)整，當(dāng)下行業(yè)環(huán)境下，30天賬期有點(diǎn)過(guò)于好了，60天已經(jīng)相當(dāng)好了，90天都不算差。”

不過(guò)，也有半導(dǎo)體行業(yè)資深技術(shù)專(zhuān)家對(duì)界面新聞?dòng)浾叻Q(chēng)，在半導(dǎo)體整體行業(yè)，60天已經(jīng)算是比較長(zhǎng)的賬期了?！斑@意味著，拓荊科技拖付款賬期了?！?/p>

界面新聞注意到，隨著相關(guān)客戶(hù)賬期拉長(zhǎng)，恒運(yùn)昌的應(yīng)收賬款額持續(xù)走高，且應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)率有所下滑。

報(bào)告期內(nèi)，該公司的應(yīng)收賬款賬面余額分別為1997.23萬(wàn)元、7209.11萬(wàn)元、6634.29萬(wàn)元和13023.87萬(wàn)元，占各期營(yíng)業(yè)收入比例分別為12.63%、22.16%、12.27%和42.83%，其中公司對(duì)拓荊科技的應(yīng)收賬款賬面余額占其整體應(yīng)收賬款賬面余額比重為34.33%、69.43%、46.09%和58.82%。

截至2025年6月30日，恒運(yùn)昌應(yīng)收賬款余額為13023.87萬(wàn)元，其中對(duì)拓荊科技、北方華創(chuàng)和中微公司的應(yīng)收賬款余額11128.63萬(wàn)元，占比85.45%。公司稱(chēng)，其對(duì)前述三家客戶(hù)的信用政策相同，回款周期一般為3-4個(gè)月左右。

報(bào)告期內(nèi)，恒運(yùn)昌的應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)率分別為8.89、7.07、7.81和6.19。公司解釋稱(chēng)，2025年1-6月，公司應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)率有所下滑，主要系由于公司對(duì)拓荊科技的信用政策由月結(jié)30天變更為月結(jié)60天所致。

目前，恒運(yùn)昌資金壓力不算大。截至2025年6月30日，恒運(yùn)昌貨幣資金余額為4億元，負(fù)債總額1.21億元，資產(chǎn)負(fù)債率從2022年的28.52%持續(xù)降低至13.86%。

但恒運(yùn)昌稱(chēng)，其現(xiàn)有資金無(wú)法覆蓋戰(zhàn)略發(fā)展需求。報(bào)告期內(nèi)，恒運(yùn)昌產(chǎn)能超負(fù)荷運(yùn)行，產(chǎn)能利用率分別達(dá)到121.34%、102.12%、111.24%及106.35%。

“公司正處于技術(shù)持續(xù)突破與市場(chǎng)拓展的快速成長(zhǎng)期?！卑凑蘸氵\(yùn)昌測(cè)算，假設(shè)2025年收入增長(zhǎng)率為20%，結(jié)合過(guò)去三年的復(fù)合增速情況（2022-2024年，公司營(yíng)業(yè)收入復(fù)合增長(zhǎng)率為84.91%）并做適當(dāng)調(diào)整，假設(shè)2026年和2027年的收入增長(zhǎng)率分別為60%、60%?！氨Ｊ毓烙?jì)，未來(lái)三年新增營(yíng)運(yùn)資金缺口為39445.23萬(wàn)元。”

恒運(yùn)昌此次擬公開(kāi)發(fā)行股票不超1693.0559萬(wàn)股，預(yù)計(jì)募資15.5億元，將投資于沈陽(yáng)半導(dǎo)體射頻電源系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項(xiàng)目、半導(dǎo)體與真空裝備核心零部件智能生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)基地項(xiàng)目、研發(fā)與前沿技術(shù)創(chuàng)新中心項(xiàng)目、營(yíng)銷(xiāo)及技術(shù)支持中心項(xiàng)目、補(bǔ)充流動(dòng)資金。