界面新聞記者 | 郭凈凈
國產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)供應(yīng)商深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)股份有限公司（簡稱“恒運(yùn)昌”）沖刺科創(chuàng)板IPO事宜有進(jìn)展。10月17日，該公司已回復(fù)其科創(chuàng)板上市申請審核問詢函，并更新招股書中財務(wù)數(shù)據(jù)等重要內(nèi)容。
更新后的招股書顯示，2025年上半年，恒運(yùn)昌調(diào)整了其占營收比重超六成的第一大客戶、持股超3%的拓荊科技（688072.SH）的信用政策，將其從維持多年的30天延長至60天。
對于這個現(xiàn)象，界面新聞記者采訪了行業(yè)多位人士，大家觀點(diǎn)不一。
不容忽視的是，今年上半年，隨著大客戶拓荊科技的賬期拉長，恒運(yùn)昌的應(yīng)收賬款大幅上漲，應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)率下滑，公司的資金壓力有所提升。
市場份額6.1%
恒運(yùn)昌半導(dǎo)體級等離子體射頻電源系統(tǒng)于2018年開始研發(fā)、2020年下半年開始批量交付。到2024年，恒運(yùn)昌的自研產(chǎn)品收入占比超過80%。
恒運(yùn)昌已自研推出CSL、Bestda、Aspen/Basalt三代等離子體射頻電源系統(tǒng)系列產(chǎn)品。其中，目前主要產(chǎn)品Bestda、Aspen/Basalt兩代產(chǎn)品，主要面向半導(dǎo)體領(lǐng)域；CSL系列主要用于光伏電池片薄膜沉積、顯示面板鍍膜、精密光學(xué)鍍膜等領(lǐng)域。
2025年1月，以AE、MKS等最新一代產(chǎn)品指標(biāo)為設(shè)計目標(biāo)，恒運(yùn)昌開始研發(fā)新一代等離子體射頻電源系統(tǒng)Cedar系列，產(chǎn)品可支撐5納米及以下先進(jìn)制程，預(yù)計于四季度推出樣機(jī)，于2026年二季度實(shí)現(xiàn)銷售。
“恒運(yùn)昌在國產(chǎn)半導(dǎo)體領(lǐng)域等離子體射頻電源系統(tǒng)供應(yīng)商中，算是名氣比較大的，市場份額還可以，但不是唯一的?！鄙鲜霭雽?dǎo)體行業(yè)技術(shù)專家對界面新聞記者指出，目前，國內(nèi)做射頻電源產(chǎn)品的公司不少，“射頻電源本身應(yīng)用很廣泛，只不過，半導(dǎo)體行業(yè)對射頻電源要求更高一點(diǎn)。有很多其他領(lǐng)域的射頻電源公司也轉(zhuǎn)過來做半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品?！?/p>
前述專家指出，作為半導(dǎo)體設(shè)備零部件國產(chǎn)化最難環(huán)節(jié)之一，全球等離子體射頻電源系統(tǒng)市場主要由MKS、AE等海外廠商壟斷，“毫無疑問，AE是全球老大。”
根據(jù)弗若斯特沙利文統(tǒng)計，2024年中國大陸半導(dǎo)體領(lǐng)域等離子體射頻電源系統(tǒng)的國產(chǎn)化率不足12%，其中恒運(yùn)昌的市場份額為6.1%，位列國產(chǎn)廠商第一。就整體中國大陸等離子體射頻電源系統(tǒng)市場，恒運(yùn)昌2024年的市場份額為3.8%，位列國產(chǎn)廠商第一位。
不過，恒運(yùn)昌的競爭對手正在增加。英杰電氣（300820.SZ）、北方華創(chuàng)微電子等公司加緊布局射頻電源業(yè)務(wù)。
界面新聞了解到，英杰電氣重點(diǎn)攻關(guān)半導(dǎo)體刻蝕、薄膜沉積（CVD/PECVD）、離子注入等關(guān)鍵制程電源技術(shù)，部分型號射頻電源已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，覆蓋5nm刻蝕及PECVD等先進(jìn)制程，已成為中微公司（688012.SH）供應(yīng)商且已獲其投資持股約20%。
2020年，北方華創(chuàng)微電子收購北廣科技射頻應(yīng)用技術(shù)相關(guān)資產(chǎn)；2024年3月，北方華創(chuàng)擬以北京七星華創(chuàng)流量計有限公司為基礎(chǔ)，打造集成電路裝備零部件產(chǎn)業(yè)平臺，后更名為華丞電子。
超六成收入來自拓荊科技
近年來，受益于整個半導(dǎo)體行業(yè)的國產(chǎn)替代趨勢，恒運(yùn)昌的業(yè)績持續(xù)改善。
最新披露的財務(wù)數(shù)據(jù)顯示，2022年至2024年及2025年前6月（報告期內(nèi)），恒運(yùn)昌實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入分別為1.58億元、3.25億元、5.41億元及3.04億元；同期歸母凈利潤分別是2638.97萬元、8053.58萬元、1.43億元、6942.42萬元；主營業(yè)務(wù)毛利率分別為41.65%、46.11%、48.71%及49.03%。截至2025年8月31日，公司在手訂單規(guī)模為1.03億元。
毛利率、收入均提高，恒運(yùn)昌今年上半年的凈利潤反而下降。恒運(yùn)昌稱，2025年1-6月研發(fā)費(fèi)用為4330.84萬元，較上年同期增加72.63%。
更需關(guān)注的是，恒運(yùn)昌超六成收入來自其第一大客戶拓荊科技。2022年至2024年及2025年上半年，該公司向拓荊科技銷售收入分別為7153.8萬元、1.89億元、3.41億元及1.89億元，占當(dāng)期營收比重分別為45.23%、58.16%、63.13%和62.06%。
自2018年起，恒運(yùn)昌與拓荊科技開展多款PECVD設(shè)備所需等離子體射頻電源系統(tǒng)的國產(chǎn)化開發(fā)及驗(yàn)證工作，2020年獲得批量訂單，于2021年5月達(dá)到千萬級收入。報告期內(nèi)，公司已穩(wěn)定批量供應(yīng)拓荊科技PECVD設(shè)備，是拓荊科技2024年第一大等離子體射頻電源系統(tǒng)供應(yīng)商、前十大零部件供應(yīng)商。
目前，雙方合作范圍從開始的PECVD設(shè)備不斷擴(kuò)展至PEALD（等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)）設(shè)備、HDPCVD（高密度等離子體化學(xué)氣相沉積）設(shè)備及先進(jìn)封裝的鍵合設(shè)備領(lǐng)域。
“如果恒運(yùn)昌對拓荊科技的銷售比重持續(xù)超過60%，那么我認(rèn)為該公司的客戶源還不夠大。”前述半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)專家對界面新聞記者稱，拓荊科技自身的公司體量也不夠大，“長期只依賴這一家公司的話，公司發(fā)展的天花板可能也就在那里。”
界面新聞了解到，拓荊科技是我國唯一一家產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的半導(dǎo)體PECVD設(shè)備商。2025年上半年，拓荊科技實(shí)現(xiàn)營收19.54億元，同比增長54.25%；同期歸母凈利潤9428.80萬元，同比下降26.96%。
“公司目前已經(jīng)建立全球化的供應(yīng)商網(wǎng)絡(luò)，關(guān)鍵零部件采用‘多源采購’模式，避免單一供應(yīng)商依賴?！蓖厍G科技稱，其與核心供應(yīng)商簽訂長期合作協(xié)議。就拓荊科技2024年年報，僅從采購額來看，到2024年，恒運(yùn)昌或?yàn)橥厍G科技第三大供應(yīng)商，涉及采購額3.37億元，占年度采購總額比例6.35%。
2022年8月，拓荊科技基于保障自身供應(yīng)鏈安全的需要，對恒運(yùn)昌進(jìn)行投資股2000萬元。目前，拓荊科技持有恒運(yùn)昌股份比例3.0856%，其旗下全資子公司上海巖泉持股0.3341%。上交所曾對拓荊科技（及其子公司上海巖泉）的入股背景、入股價格及公允性，是否存在關(guān)于購銷、業(yè)績等方面的特殊約定等問題作出問詢。
恒運(yùn)昌試圖擴(kuò)大其客戶圈。據(jù)界面新聞了解，公司2024年對中微公司、北方華創(chuàng)、微導(dǎo)納米已實(shí)現(xiàn)收入4288.56萬元、2813.65萬元和2306.19萬元。2025年1-6月，公司新增了屹唐股份、思銳智能和無錫邑文等客戶。
延長大客戶賬期，應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)率下滑
2024年，恒運(yùn)昌將銷售給宏大真空的自研產(chǎn)品的信用政策由“預(yù)付30%，發(fā)貨前付50%，簽收后付15%，質(zhì)保后付5%”改為“貨到票到一周付80%，剩余3月內(nèi)20%”。2025年上半年，公司將拓荊科技的信用政策由“月結(jié)30天”改為“月結(jié)60天”。
“上述調(diào)整是公司基于客戶與公司合作時間、資信情況、歷史回款情況及銷售額、公司實(shí)際情況等各項(xiàng)因素后，經(jīng)雙方協(xié)商后的正常商業(yè)行為，而非故意放寬信用期刺激銷售的情形?！焙氵\(yùn)昌稱。
某半導(dǎo)體公司董秘對界面新聞記者表示，恒運(yùn)昌這么高的大客戶依賴度，此前竟然只有30天賬期，已經(jīng)相當(dāng)優(yōu)秀了；“個人認(rèn)為這屬于正常調(diào)整，當(dāng)下行業(yè)環(huán)境下，30天賬期有點(diǎn)過于好了，60天已經(jīng)相當(dāng)好了，90天都不算差?！?/p>
不過，也有半導(dǎo)體行業(yè)資深技術(shù)專家對界面新聞記者稱，在半導(dǎo)體整體行業(yè)，60天已經(jīng)算是比較長的賬期了?！斑@意味著，拓荊科技拖付款賬期了?！?/p>
界面新聞注意到，隨著相關(guān)客戶賬期拉長，恒運(yùn)昌的應(yīng)收賬款額持續(xù)走高，且應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)率有所下滑。
報告期內(nèi)，該公司的應(yīng)收賬款賬面余額分別為1997.23萬元、7209.11萬元、6634.29萬元和13023.87萬元，占各期營業(yè)收入比例分別為12.63%、22.16%、12.27%和42.83%，其中公司對拓荊科技的應(yīng)收賬款賬面余額占其整體應(yīng)收賬款賬面余額比重為34.33%、69.43%、46.09%和58.82%。
截至2025年6月30日，恒運(yùn)昌應(yīng)收賬款余額為13023.87萬元，其中對拓荊科技、北方華創(chuàng)和中微公司的應(yīng)收賬款余額11128.63萬元，占比85.45%。公司稱，其對前述三家客戶的信用政策相同，回款周期一般為3-4個月左右。
報告期內(nèi)，恒運(yùn)昌的應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)率分別為8.89、7.07、7.81和6.19。公司解釋稱，2025年1-6月，公司應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)率有所下滑，主要系由于公司對拓荊科技的信用政策由月結(jié)30天變更為月結(jié)60天所致。
目前，恒運(yùn)昌資金壓力不算大。截至2025年6月30日，恒運(yùn)昌貨幣資金余額為4億元，負(fù)債總額1.21億元，資產(chǎn)負(fù)債率從2022年的28.52%持續(xù)降低至13.86%。
但恒運(yùn)昌稱，其現(xiàn)有資金無法覆蓋戰(zhàn)略發(fā)展需求。報告期內(nèi)，恒運(yùn)昌產(chǎn)能超負(fù)荷運(yùn)行，產(chǎn)能利用率分別達(dá)到121.34%、102.12%、111.24%及106.35%。
“公司正處于技術(shù)持續(xù)突破與市場拓展的快速成長期?！卑凑蘸氵\(yùn)昌測算，假設(shè)2025年收入增長率為20%，結(jié)合過去三年的復(fù)合增速情況（2022-2024年，公司營業(yè)收入復(fù)合增長率為84.91%）并做適當(dāng)調(diào)整，假設(shè)2026年和2027年的收入增長率分別為60%、60%?！氨Ｊ毓烙嫞磥砣晷略鰻I運(yùn)資金缺口為39445.23萬元。”
恒運(yùn)昌此次擬公開發(fā)行股票不超1693.0559萬股，預(yù)計募資15.5億元，將投資于沈陽半導(dǎo)體射頻電源系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項(xiàng)目、半導(dǎo)體與真空裝備核心零部件智能生產(chǎn)運(yùn)營基地項(xiàng)目、研發(fā)與前沿技術(shù)創(chuàng)新中心項(xiàng)目、營銷及技術(shù)支持中心項(xiàng)目、補(bǔ)充流動資金。