據(jù)晶盛機(jī)電消息，9月26日，首條12英寸碳化硅襯底加工中試線在晶盛機(jī)電子公司浙江晶瑞SuperSiC正式通線。浙江晶瑞SuperSiC此次貫通的中試線，覆蓋了晶體加工，切割，減薄，倒角，研磨，拋光，清洗，檢測(cè)的全流程工藝。自此，晶盛機(jī)電正式形成了12英寸SiC襯底從裝備到材料的完整閉環(huán)。