界面新聞?dòng)浾?| 郭凈凈

12月24日起，中信建投對(duì)中微公司（688012.SH）開展做市交易業(yè)務(wù)，將進(jìn)一步改善這家1700億市值半導(dǎo)體設(shè)備股票的流動(dòng)性。

當(dāng)前中微公司更為市場(chǎng)關(guān)注的，是其平臺(tái)化布局的新動(dòng)作——將購(gòu)買CMP（化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備）設(shè)備公司杭州眾硅電子科技有限公司（簡(jiǎn)稱“杭州眾硅”）控股權(quán)。

“2000年左右，中微公司創(chuàng)始人尹志堯與杭州眾硅創(chuàng)始人顧海洋都曾在美國(guó)應(yīng)用材料公司工作。這段共同經(jīng)歷，為雙方多年后的強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合埋下了伏筆。”投資機(jī)構(gòu)人士對(duì)界面新聞介紹。

仍在并購(gòu)談判期的中微公司、杭州眾硅處于緘默期。中微公司人士對(duì)界面新聞稱，“相關(guān)事宜仍在談判過程中，目前公司各業(yè)務(wù)線增長(zhǎng)情況都很正常。”杭州眾硅方面回復(fù)界面新聞?wù)f，近期公司不方便對(duì)外發(fā)聲，不接受媒體采訪。

杭州眾硅成色幾何？

中微公司12月18日宣布，籌劃發(fā)行股份購(gòu)買杭州眾硅控股權(quán)并募集配套資金。

成立于2018年5月的杭州眾硅是高端CMP設(shè)備產(chǎn)商，主要產(chǎn)品為12英寸CMP設(shè)備。

官網(wǎng)顯示，杭州眾硅由技術(shù)專家顧海洋設(shè)立，8英寸CMP設(shè)備導(dǎo)入多家晶圓廠產(chǎn)線，于2021年6月自研首臺(tái)6英寸CMP設(shè)備（第三代半導(dǎo)體），于2022年8月自研國(guó)內(nèi)首臺(tái)12英寸CMP設(shè)備（大硅片襯底拋光），2024年推出6英寸設(shè)備TENMS? ECMP150S電化學(xué)拋光設(shè)備。

界面新聞獲悉，該公司的12英寸CMP設(shè)備采用6拋光盤、2列左右平行布局的架構(gòu)設(shè)計(jì)，突破目前市場(chǎng)主流設(shè)備4盤或3盤的架構(gòu)模式，可同時(shí)支持3盤工藝或2盤工藝，滿足先進(jìn)制程中的各種工藝需求。2023年7月，該12英寸CMP設(shè)備交付國(guó)內(nèi)知名廠商并投入產(chǎn)線應(yīng)用。

據(jù)杭州眾硅總部所在的青山湖科技城官微文章，到2023年12月，杭州眾硅專利總量237件，商標(biāo)總量104件；其中有效專利118件、有效商標(biāo)78件。海外知識(shí)產(chǎn)權(quán)布局方面，專利總量120件，商標(biāo)總量46件；其中有效專利41件、有效商標(biāo)37件。

結(jié)合天眼查等工商信息服務(wù)商數(shù)據(jù)，2019年以來，杭州眾硅先后中標(biāo)青島澳柯瑪旗下芯恩（青島）集成電路、上海新微半導(dǎo)體、云南創(chuàng)視界光電科技、京東方集團(tuán)旗下云南創(chuàng)視界光電科技、中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所的招標(biāo)項(xiàng)目，且主要在2024年之后。

眾硅科技成立至今經(jīng)歷10輪融資，投資方包括臨安創(chuàng)投、毅達(dá)資本、中微公司、炬華科技、容億投資、達(dá)晨創(chuàng)投、朗瑪峰創(chuàng)投等國(guó)資、上市公司及機(jī)構(gòu)。界面新聞從知情人士獲悉，公司成立以來總?cè)谫Y規(guī)模6億元左右，近期估值超20億元。

2024年12月、2025年9月，中微公司旗下中微半導(dǎo)體（上海）有限公司增資杭州眾硅，成持股12.04%的第二大股東。

另?yè)?jù)天眼查，中微公司擬收購(gòu)交易方杭州眾芯硅工貿(mào)、上海寧容海川電子科技、杭州臨安眾芯硅、杭州臨安眾硅、杭州芯匠、杭州眾誠(chéng)芯、朱琳，分別持股20.3774%、5.8813%、3.2003%、2.4996%、1.8249%、0.8649%、0.2595%，合計(jì)34.9079%。若中微公司收購(gòu)交易方全部股份，其對(duì)杭州眾硅的持股比例將增至46.95%。

“這種路徑比較常見，并購(gòu)風(fēng)險(xiǎn)小一些?！蹦成鲜泄径貙?duì)界面新聞稱。

界面新聞從多位業(yè)內(nèi)人士處獲悉，2024年年初，中微公司與杭州眾硅已就入股事宜展開交流，但期間杭州眾硅部分員工被同行挖走了，或有所影響。

“2000年左右，中微公司創(chuàng)始人尹志堯與杭州眾硅創(chuàng)始人顧海洋都曾在美國(guó)應(yīng)用材料公司工作。這段共同經(jīng)歷，為雙方多年后的強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合埋下了伏筆。”曾在應(yīng)用材料從事半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)工作的投資人士對(duì)界面新聞指出，成功的并購(gòu)既需要業(yè)務(wù)上的協(xié)同互補(bǔ)，更離不開創(chuàng)始人之間的理念契合與信任基礎(chǔ)。

杭州眾硅曾遭同行起訴。界面新聞注意到，2020年8月至2023年9月，杭州眾硅曾與同行晶亦精微展開持續(xù)三年的侵害技術(shù)秘密糾紛。

據(jù)悉，晶亦精微成立于2019年9月，前身是中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所（簡(jiǎn)稱“四十五所”）為實(shí)現(xiàn)科技成果轉(zhuǎn)化設(shè)立的公司。2017年，四十五所CMP事業(yè)部研制出國(guó)內(nèi)首臺(tái)8英寸CMP設(shè)備，到2022年在中國(guó)大陸8英寸CMP設(shè)備市占率約68.3%。

顧海洋、古楓均曾在四十五所工作，分別擔(dān)任CMP事業(yè)部總經(jīng)理、質(zhì)量管理經(jīng)理。2018年1月、4月，二人離職后進(jìn)入杭州眾硅工作。

2020年8月，晶亦精微認(rèn)為顧海洋、古楓利用公司相關(guān)技術(shù)秘密在杭州眾硅進(jìn)行生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)，就其侵犯CMP相關(guān)技術(shù)秘密提起訴訟。直到2023年9月，經(jīng)法院調(diào)解，雙方和解，晶亦精微與杭州眾硅之間的知識(shí)產(chǎn)權(quán)糾紛結(jié)案。

CMP設(shè)備行業(yè)要變天？華海清科急曬成績(jī)

杭州眾硅所生產(chǎn)的CMP設(shè)備是典型的“濕法工藝”（借助化學(xué)液和機(jī)械力），廣泛應(yīng)用于邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片等先進(jìn)制程的生產(chǎn)線。

據(jù)愛建證券最新研報(bào)，CMP設(shè)備價(jià)值量約占半導(dǎo)體設(shè)備投資額的4%。頭豹研究院認(rèn)為，隨著芯片制程向3nm以下挺進(jìn)，CMP工藝在半導(dǎo)體設(shè)備投資中占比將升至12%。

當(dāng)前全球CMP行業(yè)被美國(guó)應(yīng)用材料、日本荏原主導(dǎo)，兩者市占率85%以上。前述投資人士對(duì)界面新聞指出，現(xiàn)在CMP設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化率約20%左右，未來可能也就不到50%的市場(chǎng)空間留給一些新廠商；“可能更多是現(xiàn)在已站穩(wěn)腳跟的CMP設(shè)備廠商去擴(kuò)產(chǎn)”。

半導(dǎo)體專家關(guān)牮長(zhǎng)期統(tǒng)計(jì)全球半導(dǎo)體設(shè)備名單。據(jù)其統(tǒng)計(jì)，目前中國(guó)大陸前道設(shè)備（含部分先進(jìn)封裝）供應(yīng)商的數(shù)字已達(dá)202家，幾乎占全球（423家）一半。

CMP設(shè)備公司有華海清科（688120.SH）、杭州眾硅、吉姆西半導(dǎo)體、科微研磨、先導(dǎo)智能旗下元夫半導(dǎo)體、中國(guó)電科旗下晶亦精微、天通吉成、特思迪、泰匯創(chuàng)等。

中微公司收購(gòu)杭州眾硅，給國(guó)內(nèi)CMP設(shè)備龍頭華海清科帶來不小沖擊。

中微公司公布收購(gòu)消息第二天，12月19日，華海清科公告稱，其CMP裝備累計(jì)出機(jī)超800臺(tái)，全面覆蓋邏輯、3DNAND存儲(chǔ)、DRAM存儲(chǔ)等主流產(chǎn)品線，切入大硅片、第三代半導(dǎo)體、CIS、MEMS、MicroLED以及先進(jìn)封裝等領(lǐng)域頭部客戶供應(yīng)鏈，實(shí)現(xiàn)國(guó)內(nèi)主流集成電路制造產(chǎn)線的全覆蓋和批量化應(yīng)用。

“公司持續(xù)關(guān)注相關(guān)事宜，目前沒有看到業(yè)務(wù)有受到影響?！比A海清科人士對(duì)界面新聞表示，公司做12英寸CMP設(shè)備時(shí)間比較長(zhǎng)，目前國(guó)內(nèi)沒有對(duì)手，競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手還是以國(guó)外公司為主?！肮驹趪?guó)內(nèi)的市場(chǎng)占有率已經(jīng)很高，在2022年基本占據(jù)大陸市場(chǎng)，有一定先發(fā)優(yōu)勢(shì)，杭州眾硅再進(jìn)入，有一定門檻和難度?！?/p>

在前述投資人士看來，中微公司與華海清科等作為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的先行者，率先享受到了國(guó)產(chǎn)化導(dǎo)入的紅利。“杭州眾硅在多款產(chǎn)品上實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破，部分甚至達(dá)到全球首創(chuàng)水平。中微公司與杭州眾硅的結(jié)合，正是‘市場(chǎng)先機(jī)’與‘技術(shù)壁壘’的完美互補(bǔ)?！痹撊耸繉?duì)界面新聞?wù)f。

半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的一個(gè)顯著特點(diǎn)是驗(yàn)證周期長(zhǎng)、資金壓力大。“一款新產(chǎn)品從前期驗(yàn)證到小批量訂單，再到大批量交付，往往需要一到兩年時(shí)間。這對(duì)初創(chuàng)公司而言是巨大的資金考驗(yàn)。”上述投資人士進(jìn)一步對(duì)界面新聞指出，“杭州眾硅被中微公司并購(gòu)后，能夠在客戶資源、資金支持、供應(yīng)鏈協(xié)同等方面獲得全方位賦能，從而加速商業(yè)化進(jìn)程。”

尤其是客戶資源方面。據(jù)中郵證券研報(bào)，2025年上半年，中微公司ICP刻蝕設(shè)備已在超50家客戶產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)。

在下游客戶看來，小設(shè)備公司并入大公司也利于其下游芯片公司的生產(chǎn)穩(wěn)定性?！叭绻荒軐?shí)現(xiàn)盈利，很多供應(yīng)鏈都不敢與你合作。小公司抗風(fēng)險(xiǎn)能力差，客戶希望供應(yīng)商能夠并入大平臺(tái)，保持其穩(wěn)定性。”某芯片設(shè)計(jì)公司創(chuàng)始人對(duì)界面新聞稱，同行并購(gòu)更看重戰(zhàn)略協(xié)同性，更能看到虧損公司的價(jià)值所在。

界面新聞注意到，下游客戶對(duì)設(shè)備供應(yīng)商的體量也有要求。根據(jù)中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，2025年8月發(fā)布的“燕東科技基于12英寸銅工藝項(xiàng)目定制化要求銅化學(xué)機(jī)械研磨CMP設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目”，要求投標(biāo)人近3年12英寸設(shè)備實(shí)際銷售不少于20臺(tái)，且不承認(rèn)試用或Demo等形式的合同或訂單；2024年12月發(fā)布的“株洲中車時(shí)代半導(dǎo)體有限公司CMP設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目”，要求投標(biāo)人近三年同類型設(shè)備業(yè)績(jī)不低于30臺(tái)。

轉(zhuǎn)向平臺(tái)型公司

“通過并購(gòu)杭州眾硅，中微公司新增CMP設(shè)備業(yè)務(wù)，擴(kuò)大其產(chǎn)品線，對(duì)其業(yè)績(jī)有很大幫助?！蹦嘲雽?dǎo)體專家對(duì)界面新聞稱。

中微公司表示，本次交易標(biāo)志著其向“集團(tuán)化”和“平臺(tái)化”邁出關(guān)鍵一步。公司董事長(zhǎng)、總經(jīng)理尹志堯10月30日稱，中微公司在不斷擴(kuò)大自身的產(chǎn)品覆蓋，目前公司三十多種設(shè)備已覆蓋半導(dǎo)體高端設(shè)備的25%到30%，今后五到十年，計(jì)劃通過有機(jī)生長(zhǎng)和外延擴(kuò)展，逐步覆蓋半導(dǎo)體高端設(shè)備的50%到60%，成為一個(gè)設(shè)備的大型平臺(tái)化公司。

中微公司成立于2004年5月，產(chǎn)品基本完整覆蓋刻蝕、薄膜沉積領(lǐng)域。公司刻蝕產(chǎn)品覆蓋CCP與ICP兩大體系，已滿足65nm至5nm及更先進(jìn)節(jié)點(diǎn)需求；并布局薄膜沉積與外延裝備，拓展光學(xué)與電子束量測(cè)及多類泛半導(dǎo)體微加工設(shè)備。

截至2025年6月底，該公司的CCP、ICP刻蝕設(shè)備累計(jì)裝機(jī)量超4500、1200個(gè)反應(yīng)臺(tái)，薄膜沉積LPCVD設(shè)備累計(jì)出貨破150個(gè)反應(yīng)臺(tái)。

自2019年登陸科創(chuàng)板上市以來，中微公司并購(gòu)擴(kuò)張動(dòng)作加快：

• 2019年8月至2023年5月，合計(jì)2.8億元取得檢測(cè)設(shè)備供應(yīng)商睿勵(lì)科學(xué)儀器27.46%股權(quán)，為其第一大股東。2024年，其發(fā)起設(shè)立控股子公司電子束量檢測(cè)設(shè)備公司超微半導(dǎo)體。
• 2020年10月，增資MOCVD產(chǎn)品檢測(cè)設(shè)備供應(yīng)商昂坤視覺，于2020年、2021年近2億元入股PECVD薄膜設(shè)備商理想萬里暉。

2025年以來，中微公司投資提速：1月投資30.5億元建設(shè)研發(fā)薄膜設(shè)備研發(fā)及生產(chǎn)基地暨西南總部項(xiàng)目，2月增資由前董秘劉曉宇負(fù)責(zé)的上海智微私募基金。

中微公司的長(zhǎng)期股權(quán)投資從2020年的4.24億增至2025年前三季度的14.33億元。據(jù)界面新聞不完全統(tǒng)計(jì)，公司先后投資中芯國(guó)際、拓荊科技等10多家上市半導(dǎo)體公司。

2020年至2024年，中微公司收入從22.73億升至90.65億元。2024年起，公司第二大業(yè)務(wù)薄膜沉積設(shè)備開始批量交付。最新財(cái)報(bào)顯示，2025年前三季度，公司營(yíng)收同比增46.4%至80.63億元，歸母凈利潤(rùn)同比增32.66%至12.11億元；報(bào)告期內(nèi)，其刻蝕設(shè)備收入同比增38.26%至61.01億，占比75.67%；薄膜設(shè)備收入同比漲1332.69%至4.03億元，占比約5%。

“最后剩下來的半導(dǎo)體公司肯定是平臺(tái)型公司?！鼻笆霭雽?dǎo)體設(shè)備公司人士對(duì)界面新聞表示，中微公司確實(shí)應(yīng)該走這條路。

在業(yè)內(nèi)看來，向平臺(tái)型企業(yè)發(fā)展成為進(jìn)入全球半導(dǎo)體設(shè)備公司第一梯隊(duì)的關(guān)鍵路徑。中郵證券指出，平臺(tái)型領(lǐng)軍廠商持續(xù)受益于下游擴(kuò)產(chǎn)與國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程。

當(dāng)前全球前五大半導(dǎo)體設(shè)備廠商均專注于前道設(shè)備應(yīng)用，除了ASML、科磊（KLA）外，應(yīng)用材料、東京電子、泛林半導(dǎo)體均為平臺(tái)型企業(yè)。

國(guó)內(nèi)來看，北方華創(chuàng)、中微公司、盛美上海、先導(dǎo)基電等上市公司確定平臺(tái)型布局，拓荊科技、華海清科、長(zhǎng)川科技、精測(cè)電子、中科飛測(cè)等細(xì)分龍頭也有所布局。

前述投資人士認(rèn)為，回顧全球半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展史，并購(gòu)整合是龍頭企業(yè)做大做強(qiáng)的必經(jīng)之路?！懊绹?guó)曾經(jīng)歷數(shù)百家設(shè)備公司共存的行業(yè)發(fā)展階段，最終是幾家千億美金市值龍頭通吃?？评?、應(yīng)用材料通過數(shù)十次并購(gòu)不斷完善產(chǎn)品線、擴(kuò)大市場(chǎng)份額?！?/span>

"國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)正處于整合的關(guān)鍵窗口期。"該人士進(jìn)一步對(duì)界面新聞分析道，北方華創(chuàng)并購(gòu)芯源微、華海清科收購(gòu)芯崳，這些案例都印證了這一趨勢(shì)。“政策支持、初創(chuàng)企業(yè)涌現(xiàn)、AI驅(qū)動(dòng)的工藝進(jìn)步，都在為行業(yè)整合提供持續(xù)動(dòng)力。中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)要實(shí)現(xiàn)‘從跟跑到并跑甚至領(lǐng)跑’，并購(gòu)整合是一條值得探索的路徑，但關(guān)鍵在于找到真正具備協(xié)同價(jià)值的標(biāo)的，并建立高效的整合機(jī)制?！?/span>

“在優(yōu)勢(shì)設(shè)備領(lǐng)域有比較好的成就后，肯定考慮去做協(xié)同發(fā)展的新業(yè)務(wù)，近年公司也在進(jìn)行平臺(tái)化布局?！比A海清科人士對(duì)界面新聞介紹，目前公司已建立覆蓋CMP設(shè)備、離子注入、減薄、劃切、濕法、晶圓再生等多元化產(chǎn)品矩陣?！?/p>

但這條路走起來并不容易。前述半導(dǎo)體設(shè)備公司人士對(duì)界面新聞指出，北方華創(chuàng)是自2016年同一實(shí)控人下的兩家公司合并而成，有一定先天優(yōu)勢(shì)；“但如果從一個(gè)單品類公司逐步添加新品類，經(jīng)過很多輪并購(gòu)整合，逐步形成平臺(tái)型規(guī)模，難度挺大，要付出足夠的時(shí)間、人力和資金成本?！?/p>

近3500億元市值排名第一的北方華創(chuàng)走在前面，是國(guó)內(nèi)唯一成型的平臺(tái)型設(shè)備企業(yè)。2016年，北方華創(chuàng)由七星電子與北方微電子重組而成，后于2018年收購(gòu)美國(guó)Akrion強(qiáng)化清洗環(huán)節(jié)，在2023年收購(gòu)北京丹普拓展鍍膜譜系，于2025年戰(zhàn)略控股芯源微切入中高端涂膠顯影賽道。今年3月，北方華創(chuàng)在SEMICON China 2025展會(huì)上發(fā)布首款離子注入機(jī)產(chǎn)品，至此基本覆蓋除光刻之外的所有半導(dǎo)體前道制造設(shè)備。

2024年、2025年前三季度，北方華創(chuàng)實(shí)現(xiàn)營(yíng)收298.38億、273.01億元，同比增長(zhǎng)35.14%、32.97%；歸母凈利潤(rùn)56.21億、51.3億元，同比增長(zhǎng)44.17%、14.83%。

從市值、業(yè)務(wù)布局、業(yè)績(jī)規(guī)模等各方面，曾被業(yè)界認(rèn)為“北華創(chuàng)、南中微”雙龍頭之一的中微公司慢了好幾拍。

“從規(guī)模上講，北方華創(chuàng)是中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備廠商的絕對(duì)龍頭；中微公司技術(shù)水平很好，最大缺點(diǎn)就是業(yè)務(wù)面還不夠廣，產(chǎn)品線較北方華創(chuàng)相對(duì)單一，導(dǎo)致總營(yíng)收較小。”上述半導(dǎo)體專家指出，現(xiàn)在兩家公司都在通過并購(gòu)拼命擴(kuò)張業(yè)務(wù)線?！皩?duì)他們兩家來說，靠現(xiàn)有業(yè)務(wù)維持高增長(zhǎng)，已經(jīng)很難了。北方華創(chuàng)2030年業(yè)績(jī)目標(biāo)要做到一千億，必須通過并購(gòu)快速擴(kuò)大業(yè)務(wù)線才能實(shí)現(xiàn)，靠現(xiàn)有業(yè)務(wù)基本不可能?！?/p>

二級(jí)市場(chǎng)上，中微公司今年以來累漲超44%，停牌前股價(jià)272.72元/股，市值1708億元。公司持股14.93%的第一大股東上海創(chuàng)業(yè)投資計(jì)劃逢高變現(xiàn)，于12月1日披露擬減持不超626.145萬股股份（占比1%）。