盛劍環(huán)境近期接受投資者調(diào)研時(shí)稱(chēng),公司在L/S設(shè)備方面,研發(fā)驗(yàn)證等離子+水洗雙腔樣機(jī),填補(bǔ)了公司在雙腔設(shè)備機(jī)型方面的空白。在國(guó)際高難度制程的常壓EPI領(lǐng)域,公司完成國(guó)內(nèi)首臺(tái)套水洗+燃燒+水洗的設(shè)備廠內(nèi)性能驗(yàn)證和SEMI認(rèn)證,并與某集成電路頭部客戶(hù)達(dá)成合作測(cè)試驗(yàn)證協(xié)議。同時(shí),積極開(kāi)拓新能源領(lǐng)域市場(chǎng),結(jié)合TOPcon電池PE-Poly工藝高SiH4和H?的特點(diǎn),定向研發(fā)PW3000機(jī)型有效解決了粉塵堵塞PM周期短的痛點(diǎn),提升客戶(hù)的生產(chǎn)稼動(dòng)率,并先后取得揚(yáng)州新瑞、天合光能等客戶(hù)的批量訂單;在真空設(shè)備方面,完成了2款機(jī)型的研發(fā)驗(yàn)證測(cè)試,并首次獲得集成電路領(lǐng)域的維保服務(wù)訂單;在溫控設(shè)備方面,完成首款三通道產(chǎn)品的研發(fā)驗(yàn)證測(cè)試。
盛劍環(huán)境:PW3000機(jī)型先后取得揚(yáng)州新瑞、天合光能等客戶(hù)的批量訂單
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