晶盛機(jī)電10月16日在投資者關(guān)系活動記錄表中稱,9月26日,公司首條12英寸碳化硅襯底加工中試線在子公司浙江晶瑞SuperSiC正式通線,至此,子公司浙江晶瑞SuperSiC真正實(shí)現(xiàn)了從晶體生長、加工到檢測環(huán)節(jié)的全線設(shè)備自主研發(fā),100%國產(chǎn)化,標(biāo)志著晶盛在全球SiC襯底技術(shù)從并跑向領(lǐng)跑邁進(jìn),邁入高效智造新階段。未來,公司將加速推進(jìn)產(chǎn)線的量產(chǎn)進(jìn)程,為客戶提供高質(zhì)量、低成本的大尺寸碳化硅襯底,攜手產(chǎn)業(yè)鏈伙伴,共同推動我國第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展。
晶盛機(jī)電:公司12英寸碳化硅襯底中試線正式通線
界面快報 · 來源:界面新聞
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