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晶盛機電:公司12英寸碳化硅襯底中試線正式通線

晶盛機電10月16日在投資者關系活動記錄表中稱,9月26日,公司首條12英寸碳化硅襯底加工中試線在子公司浙江晶瑞SuperSiC正式通線,至此,子公司浙江晶瑞SuperSiC真正實現(xiàn)了從晶體生長、加工到檢測環(huán)節(jié)的全線設備自主研發(fā),100%國產化,標志著晶盛在全球SiC襯底技術從并跑向領跑邁進,邁入高效智造新階段。未來,公司將加速推進產線的量產進程,為客戶提供高質量、低成本的大尺寸碳化硅襯底,攜手產業(yè)鏈伙伴,共同推動我國第三代半導體產業(yè)蓬勃發(fā)展。

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