5月27日，光刻機(jī)、光刻膠概念盤中擴(kuò)大漲幅，容大感光、藍(lán)英裝備、張江高科、彤程新材等多股漲停，另外強(qiáng)力新材、波長(zhǎng)光電、茂萊光學(xué)、南大光電、廣信材料等十余股漲超10%。