12月24日，據(jù)晶盛機電消息，12英寸單片式碳化硅外延生長設(shè)備已交付碳化硅（SiC）外延晶片生產(chǎn)商瀚天天成，其使用的12英寸襯底則由浙江晶瑞SuperSiC提供。此次研發(fā)的12英寸單片式SiC外延設(shè)備可兼容8、12英寸SiC外延生產(chǎn)。
晶盛機電12英寸單片式碳化硅外延生長設(shè)備交付
界面快報 · 來源：界面新聞
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- 晶盛機電：12英寸半導體級單晶爐交付海外客戶
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